干式真空泵的定义分类以及在半导体行业的应用

一、干式真空泵的定义
干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。就代替油封式机械泵来说,一般通用的说法是: 能在大气压到10-2Pa 的压力范围内工作;在泵的抽气流道(如泵腔)中,不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通,能连续向大气中排气的泵, 即称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。
二、干式真空泵的分类
就基本原理来分, 只有两类, 即:
1.容积式的无油真空泵, 例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。
2.动量传输式的无油真空泵,如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接, 在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵。
3.如果按照工作原理分类的话，可分为两类：容积式干式真空泵和动量传递式干式真空泵。这两类的干式真空泵，各自的特点又有哪些呢？ 一般干式真空泵的特点为：清洁；安全；耐磨；造价低；维修方便；性能稳定；振动小，噪音低。正因为有这些特性，干式真空泵才有着更加有意义的价值和更广泛的使用。
在半导体产业主要应用对象的干式真空泵，会在许多抽气工艺过程中出现一些颗粒物，一般说来，在干式真空泵中出现颗粒物有三种情况：
1.当泵内压力增高时引起气固变相过程的发生；
2.在泵内产生反应气体的生成物；
3.抽气过程混入的颗粒物